? 非破壞性測(cè)試：無需制備特殊電極，直接接觸器件焊盤

? 高靈活性：可快速更換樣品或調(diào)整磁場(chǎng)/溫度參數(shù)

? 多參數(shù)協(xié)同分析：結(jié)合電、磁、光、熱等多物理場(chǎng)測(cè)量

? 磁場(chǎng)靈活可調(diào)

? 樣品臺(tái)安裝運(yùn)動(dòng)形式可選

? 支持多探針座探針

?多樣式探針靈活應(yīng)用；可選DC、RF、光纖探針

一、核心技術(shù)參數(shù)

◆磁場(chǎng)強(qiáng)度：0T-3T（根據(jù)樣品臺(tái)大小和最大磁場(chǎng)強(qiáng)度而定）

◆冷卻方式：水冷/自然冷卻（由功率決定）

◆磁場(chǎng)均勻性：±0.1% 在5mm×5mm范圍內(nèi)

◆磁場(chǎng)方向：水平/垂直可選

◆磁場(chǎng)穩(wěn)定性：≤0.1%/h（選配霍爾探頭形成閉環(huán)，實(shí)時(shí)反饋控制）

◆探針類型：DC探針、高頻探針、光纖探針

◆接觸電阻：≤10mΩ（鍍金探針）

◆探針座行程：標(biāo)準(zhǔn)配置XYZ±6.5mm、定位精度3μm、其它行程和定位精度可選

◆探針座固定方式：螺絲固定、磁性、氣吸

◆樣品尺寸：高達(dá)6"晶圓（樣品直徑對(duì)磁場(chǎng)大小有影響）

◆位移精度：標(biāo)準(zhǔn)配置XY±12.5mm、Z±5mm、定位精度10μm、可選樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn)功能（電動(dòng)/手動(dòng)）

◆調(diào)整方式：手動(dòng)/電動(dòng)

◆樣品固定方式：氣吸

◆環(huán)境控制（可選）：真空/氣氛控制、溫度選件

二、核心特點(diǎn)

◆無需低溫系統(tǒng)，操作便捷；省去液氦/液氮制冷，適合工業(yè)級(jí)快速測(cè)試

◆ 高兼容性，模塊化設(shè)計(jì)：支持多種探針（DC、高頻、光纖、磁性）、可集成光學(xué)顯微鏡、拉曼光譜、光電測(cè)試模塊

◆ 智能化控制：軟件控制磁場(chǎng)掃描、數(shù)據(jù)采集（LabVIEW）

◆工業(yè)級(jí)穩(wěn)定性（選件）：抗電磁干擾（EMI）屏蔽設(shè)計(jì)；抗震結(jié)構(gòu)，適合實(shí)驗(yàn)室

三、核心用途

◆磁場(chǎng)依賴性研究

提供可控的靜態(tài)或動(dòng)態(tài)磁場(chǎng)（方向、強(qiáng)度可調(diào)），用于研究材料或器件的磁阻效應(yīng)（如GMR、TMR）、霍爾效應(yīng)、磁化曲線、自旋電子學(xué)特性等

◆微納器件電學(xué)測(cè)試

在磁場(chǎng)環(huán)境下測(cè)量器件的電流-電壓（IV）、電容-電壓（CV）、阻抗等特性，適用于半導(dǎo)體器件（如晶體管、二極管）、磁性傳感器（如霍爾元件）、自旋閥器件等

◆高溫與磁場(chǎng)聯(lián)用

可結(jié)合高溫系統(tǒng)，磁場(chǎng)與高溫聯(lián)用，測(cè)量材料或者器件高溫磁場(chǎng)下的電磁屬性

◆光電與磁光測(cè)試

搭配光源或激光器，可分析磁場(chǎng)對(duì)材料光電流、發(fā)光效率（如LED、光伏器件）或磁光效應(yīng)（如法拉第旋轉(zhuǎn)）的影響

◆科研與工業(yè)開發(fā)

廣泛應(yīng)用于凝聚態(tài)物理、材料科學(xué)、集成電路可靠性測(cè)試、磁性存儲(chǔ)器（MRAM）研發(fā)等領(lǐng)域

四、典型應(yīng)用

◆自旋電子學(xué)：測(cè)試自旋注入效率或磁隧道結(jié)（MTJ）器件的磁電阻

◆ 拓?fù)洳牧希貉芯康依瞬牧显诖艌?chǎng)下的量子輸運(yùn)行為

◆ 半導(dǎo)體工藝驗(yàn)證：評(píng)估磁場(chǎng)對(duì)新型晶體管（如FinFET）性能的影

◆ 傳感器校準(zhǔn)：標(biāo)定磁敏傳感器的線性度、靈敏度等參

五、配套儀表（選件）：源表（SMU）、鎖相放大器、數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)等、電壓表、矩陣開關(guān)系統(tǒng)、其它可用儀表