◆ ?樣品臺:鍍金樣品臺(三同軸、同軸、接地)
◆ ?樣品臺尺寸:2英寸/4英寸
◆ ?顯微鏡:最小分辨率2μm或4μm可選
◆ ?探針臂:最多可安裝6個探針臂、X方向行程:50mm、移動分辨率3μm;Y、Z方向行程:25mm,移動分辨率5μm
◆ ?探針配置:DC探針、射頻探針、光纖探針可選
◆ ?真空系統:機械泵或分子泵
◆ ?真空度:5×10^-3Pa(室溫)、5×10^-5Pa(最低溫)
◆ ?溫度范圍:4.5K-350K(兩個針臂)、5.5K-350K(四個針臂)、6K-350K(六個針臂)、20K-675K(高溫選件)
◆ ?溫控精度:小于300K、±50mK、大于300K、±100mK
◆ ?低振動選件:真空泵與腔體間機械物理隔振、壓縮機與冷頭之間機械物理隔振、桌面氣浮隔振、最低振動小于1μm